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氫氟酸濃度只有20PPM時，在酸環境中的氟化物對玻璃有一個破壞的作用，特別是在重復添加如氫氟酸這樣的氟化物的連續反應中。氫氟酸與二氧化硅（玻璃中的主要成分）的反應。
 
以蒸汽的狀態形成含有四氟化硅和水破壞二氧化硅結構。SIF4 ，水溶解成SIO2和H2SIF6（氫氟硅酸），其被冷凝水吸收。當污染的冷凝水到達受熱的有蒸汽的容器壁時，其蒸發，沉淀SIO2，釋放H2SIF6，然后，分解成SIF4+HF。然后，隨著不斷補充氫氟酸，其自身的重復連鎖反應。
 
因此，腐蝕出現在液體狀態中，以及在蒸汽中的較冷區域，在這里，充滿氟化物的蒸汽會冷卻。
 
玻璃在堿性環境中，不受氟化物以及其化合物所影響，也不會被無水氫氟酸氣體所腐蝕。因為，水的形成是蒸汽中氫氟化物腐蝕的前提。
 
如蒸汽區域被加熱，腐蝕的速度將大大地降低。在液體狀態中，氟化物將嚴重浸蝕玻璃，產生粗糙的表面，完全失去光滑。在蒸汽狀態形成含有四氟化硅和水蒸氣的狀態形成含有四氟化硅和水態中，由于腐蝕更集中，爆瓷和針孔將很明顯，但卻大大地減少了光滑程度。不論在那一種情況下，都取決于其濃度。這樣，玻璃容器在相對短的時期內就變得沒有用了。
 
防止氟化物腐蝕要求防范：含有氟化物雜質的反應物必須進行分析，以在使用前決定氟化物的水平。特別是工業生產中的磷酸以及鹽類經常是被氟化物污染的，正如其他的礦物酸一樣。當使用這些化學物時，特別是在還原操作中（如HCI）或在連續的價格中，考慮這個是很重要的。
 
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